部品・装置の開発・設計・試作・量産
装置紹介
装置紹介

非接触・高精度・低価格を実現 『非接触厚み測定機 YM-Series』

非接触・高精度・低価格を実現 『非接触厚み測定機 YM-Series』 『非接触厚み測定機 YM-Series』はナノオーダーの高精度な厚みの自動測定が可能です。
また、非接触なので検査対象を傷つけずに測定することができます。
非接触厚み測定機 YM-Series 詳細はこちら

装置実績

非接触ウェハ厚み測定機

装置仕様 φ300mmシリコンウェハ厚みを非接触で測定
制御 シーケンス制御、モーター2軸制御
装置サイズ 巾675×高さ703×奥行745
その他 キーエンス製分光干渉式センサSIシリーズ 4本使用
繰り返し測定精度±0.3ミクロン以下(SI-F10)、±0.1ミクロン以下(SI-F80R)

このページの上部へ

非接触パネル厚み測定機

装置仕様 300mm×300mmパネル厚みを非接触で測定
制御 シーケンス制御、モーター2軸制御
装置サイズ 巾520×高さ597×奥行700
その他 キーエンス製分光干渉式センサSIシリーズ 2本使用
繰り返し測定精度±0.3ミクロン以下

※非接触パネル厚み測定機の動画を見る※

このページの上部へ

非接触ガラス板厚平面度測定機

装置仕様 Φ100ガラス板厚、平面度を非接触で測定
制御 シーケンス制御、モーター2軸制御
装置サイズ 巾260×高さ473×奥行660
その他 キーエンス製分光干渉式センサSIシリーズ 2本使用
繰り返し測定精度±0.3ミクロン以下

このページの上部へ

非接触レンズ中心厚測定機

装置仕様 レンズの中心厚を非接触で測定
制御 シーケンス制御
装置サイズ 巾900×高さ1150×奥行き1200mm
その他 キーエンス製LK-3000シリーズ2個使用、レンズの水平出し機構付き

このページの上部へ

銅版厚み測定機

装置仕様 銅板の厚みを非接触で測定
制御 シーケンス制御
装置サイズ 巾900×高さ1150×奥行き1200mm
その他 キーエンス製LK-5000シリーズ2個使用、銅板曲がりの修正機構付き

このページの上部へ

6インチ用ウェハー移載機

装置仕様 6インチウェハー25枚入りのキャリアからキャリアへの移し替え
制御 シーケンス制御
装置サイズ 巾850×高さ500×奥行き250mm
その他 クリーンルーム仕様

このページの上部へ

投影機

装置仕様 小型TFTパネルの検査機
制御 客先支給基板による制御
装置サイズ 巾500×高さ450×奥行き360mm
その他 レンズのXYθ調整機構付き

このページの上部へ

ガラス基板引き剥がし機

装置仕様 積層ガラスを大口径吸着パッドで引き剥がす
制御 シーケンス制御
装置サイズ 巾1200×高さ1500×奥行き900mm
その他 クリーンルーム仕様

このページの上部へ

プレス供給装置

装置仕様 部品を組み込みしプレス機へ供給
制御 シーケンス制御
装置サイズ 巾620×高さ800×奥行き780mm
その他 パーツフィーダ付き

お問い合わせ

このページの上部へ

部品・装置の開発・設計・試作・量産