部品・装置の開発・設計・試作・量産
非接触厚み測定機『YM-Series』
非接触厚み測定機『YM-Series』

非接触厚み測定機『YM-Series』

特徴

非接触、高精度、ナノオーダーでの厚みを自動で測定

要求仕様に沿ったレーザ変位計を選定可能

測定対象物に合わせた受台、測定範囲、測定方法、表示を自在にカスタマイズ可能

レーザ変位計コントローラー、制御部、表示部を測定機に内臓でコンパクト化を実現

任意のデータをCSVファイルにて、PC、サーバー等へ出力可能

設計、加工、組立、調整が社内一貫体制のため低価格、短納期を実現

用途

フィルム、シート、ガラス、パネル、レンズ、ウェハ等の厚み、平坦度、隙間(ギャップ)測定

テープ付きウェハのウェハ厚み測定

樹脂、コーティング剤、接着剤等、接触式の測定では精度が出せない材質の厚み測定

金属の厚み、平面度測定

その他材質、測定方式も短納期で検証いたします

製品仕様

XY自動ステージ部
標準タイプ(厚み測定) 精密タイプ(厚み、平面度測定)
型式 YML-XY30~YML-XY500 YMH-XY100~YMH-XY300
移動方向 X軸 Y軸
測定範囲 30mm×30mm~500mm×500mm 100mm×100mm~300mm×300mm
ガイド方式 リニアガイド 精密リニアガイド
送り方式 ボールネジ リード2~10mm ボールネジ リード5mm
モーター 5相ステッピングモーター
最少送り量 0.5μm/STEP(設定可変)
最高移動速度 50mm/sec~80mm/sec 50mm/sec
平行度 10~35μm 5μm
位置決め精度 20~60μm 20μm
繰返し位置決め精度 ±3μm~±5μm ±0.5μm
バックラッシュ 2μm~20μm 2μm

制御部

制御コントローラー キーエンス KVシリーズ
タッチパネル キーエンス VTシリーズ
モーター オリエンタルモーター 5相ステッピングモーター
外部データ出力方法 LAN

レーザ変位計部(キーエンス)

型式 Sl-F10 Sl-F80
用途例 2ヘッド挟み込みによる厚み測定 1ヘッドによる厚み、隙間(ギャップ)測定
測定方式 分光干渉式
測定範囲 11.3~12.35mm 0.05~1.1mm(設置距離80~81.1mm)
最小スポット径 φ40μm φ20μm
分解能 0.01μm 0.001μm
直線性 ±0.3μm ±0.2μm

※レーザ変位計の単体のスペック例です。実際の精度はレーザ変位計の種類、測定対象物、測定方法等により異なります。

外形寸法(標準タイプYML-XY30)

外形寸法(標準タイプYML-XY30)

非接触厚み測定機『YM-Series』カタログカタログダウンロード (424KB)

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